Российская Информационная Сеть
English   Контакты
Политика  Общество  Экономика  Деловые  Наука  Hi-Tech  Культура  Шоу-бизнес  Спорт  Происшествия  Криминал  Скандалы  Пикантные  Зарубежные  ИноСМИ
ТОП-дайджест  Хроника  Эксклюзив  Фоторепортажи  Личное мнение  Погода  Комментарии  Поиск  RSS  Интернет-радио  
 Топ 20 сегодня Топ 20 сегодня 
Генпрокуратура назвала причину гибели туристов на перевале Дятлова в 1959...
В России за сутки выявили 6611 случаев заражения коронавирусом
"Он завоюет океан": какой корабль ВМФ России в одиночку сдержит флот НАТО...
При взрыве газа в жилом доме в Нижнем Новгороде пострадали пять человек...
В Нижнем Новгороде при взрыве газа в жилом доме пострадали три человека...
СБ ООН не успел договориться о продлении доставки гумпомощи в Сирию
СБ ООН не принял вторую резолюцию России о КПП на границе Сирии и Турции...
В Белграде корреспондент РИА Новости попал под слезоточивый газ
В Москве умерли 29 пациентов с COVID-19
"Еще бы в цель попадали". Захарова пошутила после слов Трампа о новых американских...
далее топ дня...
 Фотожурнал: фото-топ за месяц, галерея всех фото Фотожурнал 
 Новости партнеров
 Топ новости разделов сегодня Топ новости разделов 
Генпрокуратура назвала причину гибели туристов на перевале Дятлова в 1959 году Генпрокуратура назвала причину гибели туристов на перевале Дятлова в 1959...
Помощник Путина назвал три рецепта экономического роста в России Помощник Путина назвал три рецепта экономического роста в России
В Кремле прокомментировали опубликованное в СМИ видео убийства сирийца В Кремле прокомментировали опубликованное в СМИ видео убийства сирийца...
Британский самолет провел разведку у границ Калининградской области Британский самолет провел разведку у границ Калининградской области
Kaspersky раскрыл кампанию политического кибершпионажа на Ближнем ВостокеKaspersky раскрыл кампанию политического кибершпионажа на Ближнем Востоке...
Почти 16 тысяч жителей Курска остались без отопления и горячей воды Почти 16 тысяч жителей Курска остались без отопления и горячей воды
Суд в США приговорил россиянина Лисова к четырем годам тюрьмы Суд в США приговорил россиянина Лисова к четырем годам тюрьмы
Призывная комиссия знала о склонности стрелка в Благовещенске к суициду Призывная комиссия знала о склонности стрелка в Благовещенске к суициду...
На Украине предложили ввести уголовную ответственность за торговлю с РоссиейНа Украине предложили ввести уголовную ответственность за торговлю с Россией...
Юлию Началову похоронят во вторник на Троекуровском кладбищеЮлию Началову похоронят во вторник на Троекуровском кладбище
далее...
 Личное мнение Личное мнение 

 Новости о знаменитостях Знаменитости 
Айза Долматова рассказала правду о своем бойбфренде

ЧП в московском метро: погибло 19 человек




 Новости Hi-Tech Новости Hi-Tech 
23 мая, 09:36

Иммерсионная литография: 32-нм нормы под вопросом

Находящийся на стадии внедрения в массовое производство 65-нм технологический процесс, как известно, в некоторых случаях, в частности, Intel, удалось обеспечить без использования иммерсионных технологий.

Микропроцессорный гигант уже дал понять, что не будет использовать иммерсию и для 45-нм норм, рассматривая технологию в качестве кандидата на внедрение для 32-нм норм, если к тому моменту EUV-литография так и не будет готова к внедрению.

Учитывая, что за 32-нм среди сторонников разных технологий развернулась настоящая битва, иммерсионной литографии вообще может не найтись места на заводах Intel.

В отличие от Intel, тайваньский контрактный производитель TSMC заявил о намерении внедрить иммерсионные инструменты для производства по 45-нм нормам. В дальнейшем, TSMC рассматривает возможность использования иммерсионных технологий для норм 32 нм, электронно-лучевой литографии или EUV - для норм 22 нс.

Однако, опасения по поводу того, что материалы с высоким показателем преломления, необходимые для эффективной работы иммерсионных инструментов, работающих с источниками света с длиной волны 193 нм, созданы вовремя не будут, в последнее время раздаются все чаще и громче. Эксперты утверждают, что современные 193-нм иммерсионные литографические инструменты, использующие дистиллированную воду (показатель преломления - 1,44), обеспечат производство вплоть до норм 32 нм. ASML, Canon и Nikon уже предлагают 193-нм иммерсионные сканеры, которые можно использовать для 45-нм производства. Дальнейшие перспективы иммерсии зависят от разработки жидкостей и материалов оптической системы с более высоким показателем преломления, и ряд компаний, в частности, DuPont и JSR, ведут работы в этом направлении, утверждая о достижении величины показателя преломления в 1,64. Однако, с этими жидкостями возникает масса нерешенных до сих пор проблем (например, токсичность, способность вступать в химические реакции с кремнием, дороговизна и т. д.), посему общее настроение в отрасли таково, что промышленники все больше смотрят в сторону таких технологий, как электронно-лучевая литография (используемая, в общем-то, уже давно, но не применяющаяся в массовом производстве из-за малой скорости обработки) и уже упоминавшаяся EUV-литография. Например, в ASML не верят, что материалы с высоким показателем преломления будут готовы в срок - к 2009 году, и предлагают производителям настраиваться на EUV-литографию.
[Читать все комментарии] [Напечатать новость]
Источник: IXBT.com
  Комментарии к новости 
[Добавить комментарий]

Комментариев к этой новости пока нет. Добавьте первым свой комментарий!
[Добавить комментарий]
 Хроника новостей: Новости Hi-Tech Хроника новостей 
Kaspersky раскрыл кампанию политического кибершпионажа на Ближнем Востоке

10 апреля 07:04
Корабль "Союз МС-12" с экипажем стартовал к МКС

14 марта 22:04
В ФАС сообщили о хакерской атаке на ресурсы службы

15 ноября 08:04
Как провести полезный онлайн вебинар

8 мая 13:41
Роскомнадзор опроверг данные о сбоях из-за блокировки подсетей Amazon

18 апреля 06:04
Глава Роскомнадзора рассказал, как проходит блокировка Telegram

17 апреля 19:04
Роскомнадзор не поддержал идею о запрете VPN-сервисов

16 апреля 14:04
Роскомнадзор начал блокировку Telegram

16 апреля 13:04
Роскомнадзор внес Telegram в реестр запрещенных интернет-ресурсов

13 апреля 18:04
Суд удовлетворил иск о блокировке Telegram

13 апреля 13:04
Cуд постановил заблокировать Telegram в России

13 апреля 12:04
Telegram попросил суд отложить заседание по блокировке

13 апреля 09:04
Дуров ответил на ультиматум Роскомнадзора к Telegram

20 марта 17:04
Экс-сотрудник Белого дома рассказал о планах масштабной кибероперации против России

11 марта 05:04
В Великобритании создадут радар на случай "российской агрессии" в воздухе

27 января 10:04
Twitter не нашел доказательств российского вмешательства в Brexit

25 января 20:04
Минкомсвязь смягчила законопроект о регулировании интернет-трафика

23 января 10:04
Скоро sim-карта может заменить паспорт.

15 ноября 10:09
Чем хорош iPhone для современных девушек.

8 ноября 12:23
В России запретили анонимайзеры для обхода блокировок РКН

1 ноября 09:13
Еще один российский ритейлер заманивает покупателей трейдином смартфонов

31 октября 10:46
Страховщики предлагают страховать от атаки хакеров

27 октября 11:21
Десятый iPhone выпустят в 2 раза меньше от плана

25 октября 10:41
"Плохой кролик" атаковал банки России

25 октября 09:50
Министерство связи России обещает отмену международного роуминга

18 октября 12:59
Telegram в Москве присудили штраф почти на миллион рублей

17 октября 10:10
Мессенджер Telegram наконец стал легально поддерживать русский язык

11 октября 10:31
Лайфхаки со смартфоном, которые ты должен знать

9 октября 10:34
Наушники Google переводят с 40 языков в режиме реального времени

6 октября 12:14
IQ ИИ Google выше, чем у Siri и Bing

4 октября 09:42
 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25 >> 460
 Главная новость дня Главная новость дня 
Генпрокуратура назвала причину гибели туристов на перевале Дятлова в 1959 году
 
 Эксклюзив Эксклюзив 
Как дела, S&P 500?
 
  Топ новостей Опросы 
 Фоторепортажи: новости с подборкой фотографий Фоторепортажи 
Наталья Штурм разделась на море (фото)
Катя Жужа покидает Сейшельские острова
Шаляпин и Копенкина снова живут вместе
Николай Носков впервые рассказал о тяжелой болезни
Николас Кейдж сломал ногу во время съемок
 Новости партнеров
 Новости дня Новости дня 
 
   RIN 2000-
* Обратная связь
Контактная информация  
Политика  Общество  Экономика  Деловые  Наука  Hi-Tech  Культура  Шоу-бизнес  Спорт  Происшествия  Криминал  Скандалы  Пикантные  Зарубежные  ИноСМИ