Российская Информационная Сеть
English   Контакты
Политика  Общество  Экономика  Деловые  Наука  Hi-Tech  Культура  Шоу-бизнес  Спорт  Происшествия  Криминал  Скандалы  Пикантные  Зарубежные  ИноСМИ
ТОП-дайджест  Хроника  Эксклюзив  Фоторепортажи  Личное мнение  Погода  Комментарии  Поиск  RSS  Интернет-радио  
 Топ 20 сегодня Топ 20 сегодня 
Лавров и Ван И обсудили конфликт на Украине
"Интересный прецедент". Украина неожиданно стала жить по российским законам...
Путин рассказал об истоках противоречий между Западом и Россией
ПВО сбила над четырьмя регионами 36 украинских БПЛА
ПВО сбила над четырьмя регионами 26 украинских БПЛА
Киев лишил выплат десятки тысяч родных погибших солдат ВСУ, сообщило подполье...
Ким Чен Ын выразил готовность поддерживать Россию в урегулировании конфликта...
ЕС ускорит подготовку ответных мер на пошлины США
Европа ускорит подготовку ответных мер на пошлины США
В Белгородской области число пострадавших от атак БПЛА выросло до четырех...
далее топ дня...
 Фотожурнал: фото-топ за месяц, галерея всех фото Фотожурнал 
 Топ новости разделов сегодня Топ новости разделов 
Лавров и Ван И обсудили конфликт на УкраинеЛавров и Ван И обсудили конфликт на Украине
США хотят вытеснить Россию из торговли продовольствием, заявило посольство в Вашингтоне США хотят вытеснить Россию из торговли продовольствием, заявило посольство...
В России может появиться единый реестр иноагентов В России может появиться единый реестр иноагентов
В Минобороны рассказали о разведактивности у границ России за 2020 год В Минобороны рассказали о разведактивности у границ России за 2020 год...
NASA ждет соглашения с Россией о перекрестных полетах к МКС NASA ждет соглашения с Россией о перекрестных полетах к МКС
ВСУ обстреляли Донецк снарядами натовского калибра ВСУ обстреляли Донецк снарядами натовского калибра
ВСУ ударили дроном-камикадзе по жилым домам в Энергодаре ВСУ ударили дроном-камикадзе по жилым домам в Энергодаре
"Они нас обманули": на Украине посетовали на отказ Канады выполнить просьбу по "Северному потоку" "Они нас обманули": на Украине посетовали на отказ Канады выполнить просьбу...
Захарова оценила заявление США о противодействии "Северному потоку - 2" Захарова оценила заявление США о противодействии "Северному потоку - 2"...
Силовики начали задержания на несанкционированной акции в центре Минска Силовики начали задержания на несанкционированной акции в центре Минска...
далее...
 Личное мнение Личное мнение 

 Новости о знаменитостях Знаменитости 
Новость: 30 июля 10:52: Максим Виторган сыграет "мужчину мечты"Максим Виторган сыграет "мужчину мечты"

Новость: 25 июля 10:30: На МУЗ-ТВ новая звездная ведущаяНа МУЗ-ТВ новая звездная ведущая




 Новости Hi-Tech Новости Hi-Tech 
23 мая, 09:36

Иммерсионная литография: 32-нм нормы под вопросом

Находящийся на стадии внедрения в массовое производство 65-нм технологический процесс, как известно, в некоторых случаях, в частности, Intel, удалось обеспечить без использования иммерсионных технологий.

Микропроцессорный гигант уже дал понять, что не будет использовать иммерсию и для 45-нм норм, рассматривая технологию в качестве кандидата на внедрение для 32-нм норм, если к тому моменту EUV-литография так и не будет готова к внедрению.

Учитывая, что за 32-нм среди сторонников разных технологий развернулась настоящая битва, иммерсионной литографии вообще может не найтись места на заводах Intel.

В отличие от Intel, тайваньский контрактный производитель TSMC заявил о намерении внедрить иммерсионные инструменты для производства по 45-нм нормам. В дальнейшем, TSMC рассматривает возможность использования иммерсионных технологий для норм 32 нм, электронно-лучевой литографии или EUV - для норм 22 нс.

Однако, опасения по поводу того, что материалы с высоким показателем преломления, необходимые для эффективной работы иммерсионных инструментов, работающих с источниками света с длиной волны 193 нм, созданы вовремя не будут, в последнее время раздаются все чаще и громче. Эксперты утверждают, что современные 193-нм иммерсионные литографические инструменты, использующие дистиллированную воду (показатель преломления - 1,44), обеспечат производство вплоть до норм 32 нм. ASML, Canon и Nikon уже предлагают 193-нм иммерсионные сканеры, которые можно использовать для 45-нм производства. Дальнейшие перспективы иммерсии зависят от разработки жидкостей и материалов оптической системы с более высоким показателем преломления, и ряд компаний, в частности, DuPont и JSR, ведут работы в этом направлении, утверждая о достижении величины показателя преломления в 1,64. Однако, с этими жидкостями возникает масса нерешенных до сих пор проблем (например, токсичность, способность вступать в химические реакции с кремнием, дороговизна и т. д.), посему общее настроение в отрасли таково, что промышленники все больше смотрят в сторону таких технологий, как электронно-лучевая литография (используемая, в общем-то, уже давно, но не применяющаяся в массовом производстве из-за малой скорости обработки) и уже упоминавшаяся EUV-литография. Например, в ASML не верят, что материалы с высоким показателем преломления будут готовы в срок - к 2009 году, и предлагают производителям настраиваться на EUV-литографию.
[Читать все комментарии] [Напечатать новость]
Источник: IXBT.com
  Комментарии к новости 
[Добавить комментарий]

Комментариев к этой новости пока нет. Добавьте первым свой комментарий!
[Добавить комментарий]
 Хроника новостей: Новости Hi-Tech Хроника новостей 
"Плохой кролик" атаковал банки России

25 октября 09:50
Десятый iPhone выпустят в 2 раза меньше от плана

25 октября 10:41
Страховщики предлагают страховать от атаки хакеров

27 октября 11:21
Еще один российский ритейлер заманивает покупателей трейдином смартфонов

31 октября 10:46
В России запретили анонимайзеры для обхода блокировок РКН

1 ноября 09:13
Чем хорош iPhone для современных девушек.

8 ноября 12:23
Скоро sim-карта может заменить паспорт.

15 ноября 10:09
Минкомсвязь смягчила законопроект о регулировании интернет-трафика

23 января 10:04
Twitter не нашел доказательств российского вмешательства в Brexit

25 января 20:04
В Великобритании создадут радар на случай "российской агрессии" в воздухе

27 января 10:04
Экс-сотрудник Белого дома рассказал о планах масштабной кибероперации против России

11 марта 05:04
Дуров ответил на ультиматум Роскомнадзора к Telegram

20 марта 17:04
Telegram попросил суд отложить заседание по блокировке

13 апреля 09:04
Cуд постановил заблокировать Telegram в России

13 апреля 12:04
Суд удовлетворил иск о блокировке Telegram

13 апреля 13:04
Роскомнадзор внес Telegram в реестр запрещенных интернет-ресурсов

13 апреля 18:04
Роскомнадзор начал блокировку Telegram

16 апреля 13:04
Роскомнадзор не поддержал идею о запрете VPN-сервисов

16 апреля 14:04
Глава Роскомнадзора рассказал, как проходит блокировка Telegram

17 апреля 19:04
Роскомнадзор опроверг данные о сбоях из-за блокировки подсетей Amazon

18 апреля 06:04
Как провести полезный онлайн вебинар

8 мая 13:41
В ФАС сообщили о хакерской атаке на ресурсы службы

15 ноября 08:04
Корабль "Союз МС-12" с экипажем стартовал к МКС

14 марта 22:04
Kaspersky раскрыл кампанию политического кибершпионажа на Ближнем Востоке

10 апреля 07:04
ВОЗ назвала сроки завершения пандемии коронавируса

23 февраля 19:04
В ВОЗ заявили о неоднозначной ситуации с коронавирусом в мире

24 февраля 08:04
Российские военные уничтожили укрепрайон украинских националистов

23 апреля 06:04
Хакеры RaHDIt выложили в открытый доступ данные украинских разведчиков

6 июля 07:04
"Роскосмос" прекратит работы с европейским манипулятором ERA на российском сегменте МКС

12 июля 20:04
NASA ждет соглашения с Россией о перекрестных полетах к МКС

14 июля 04:04
 1  2  3  4  5  6  7  8  9  10  11  12  13  14  15  16  17  18  19  20  21  22  23  24  25 >> 460
 Главная новость дня Главная новость дня 
Лавров и Ван И обсудили конфликт на Украине
 
 Эксклюзив Эксклюзив 
Как дела, S&P 500? Как дела, S&P 500?
 
  Топ новостей Опросы 
 Фоторепортажи: новости с подборкой фотографий Фоторепортажи 
Брэд Питт появился на публике в жуткой одежде (видео)
Новые маленькие кроссоверы известных марок выходят на рынок.
Презентация iPhone X запомнилась конфузом
68-летняя Пугачева показала свои морщины (фото)
Кристен Стюарт встречается с женщиной
 Новости партнеров
 Новости дня Новости дня 
 
   RIN 2000-
* Обратная связь
Контактная информация  
Политика  Общество  Экономика  Деловые  Наука  Hi-Tech  Культура  Шоу-бизнес  Спорт  Происшествия  Криминал  Скандалы  Пикантные  Зарубежные  ИноСМИ